Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies - Campus de Marcoussis
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Technologies Génériques > Amincissement, polissage et sciage
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Polissage

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Puce Amincissement, polissage et sciage

Polissage

Luc Le Gratiet, Kamel Merghem

Nous avons développé en salle grise une activité de polissage au laboratoire pour les besoins en amincissements et poli optique de semiconducteurs.

Les procédés sont basés sur l'utilisation de produits non dangereux, ce qui a permis la mise en accès « libre-service » d'une polisseuse PRESI, acquise en 2001. Après formation, les utilisateurs ont accès à toute une gamme de procédés développés sur cette machine conviviale et semi-automatique, pour des tailles d'échantillons variant de 5mm de côté à 20mm de côté :

  • amincissements / poli optique de GaAs
  • amincissements / poli optique de InP
  • amincissements / poli optique de Si
  • amincissements / poli optique de GaSb

Suivant les matériaux, et la rugosité de surface visée, les procédés associent le rodage mécanique et le polissage mécano-chimique.
Des épaisseurs finales de 50 µm peuvent être atteintes en amincissement, en conservant une variation maximale d'épaisseur (TTV) sur l'échantillon inférieure à 10 µm.

L'équipe technique possède l'expertise technique sur l'équipement et les procédés, elle forme les utilisateurs et joue auprès d'eux un rôle de conseil, elle  assure  le développement de procédés nouveaux pour certaines études spécifiques internes ou externes.

LPN_Polissage_90

Polisseuse PRESI et sa tête de polissage muti-échantillons

Sciage

Jean-Claude Esnault, Olivia Mauguin

La méthode de découpe de précision utilisée par la scie ESEC8003 est le sciage par disque diamanté avec diverses granulométries (3µm à 150 µm) et diverses épaisseurs (40 à 250 µm). La taille maximale des échantillons pouvant être découpés est de 2,5mm d'épaisseur et 100mm de diamètre. La précision de positionnement et de découpe est de 3µm.
Divers matériaux peuvent être découpés : Si, GaAs, InP, Pyrex,

MachScieESEC8003

Scie ESEC8003

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Puce Membres

Contacts

 Esnault Jean-Claude  (+33) 1 69 63 60 78  
 Le Gratiet Luc  (+33) 1 69 63 60 63  
 Mauguin Olivia  (+33) 1 69 63 61 07  
 Merghem Kamel  (+33) 1 69 63 60 02  

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