CNRS/C2N : Caractérisation par Microscopie à Balayage 
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies - Campus de Marcoussis
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Technologies Génériques > Caractérisation par Microscopie à Balayage
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Microscopie

Trait horizontal

Puce Présentation

Trait vertical

Puce Présentation

Le microscope électronique est un équipement indispensable de caractérisation et de contrôle dans toutes les filières technologiques. Le C2N campus de Marcoussis dispose de 5 microscopes électroniques, 4 situés en salle blanche, un autre dans une salle spécifique destinée à la micro manipulations.

Le principe du microscope électronique repose sur l'utilisation d'un faisceau d'électrons pour obtenir l'image d'un objet de taille micro ou nanométrique. Les grossissements caractéristiques sont de l'ordre de 10000 et peuvent atteindre plusieurs centaines de milliers, bien supérieurs à ceux obtenus avec les microscopes optiques classiques.

Le faisceau d'électrons peut être produit soit à l'aide d'un filament en tungstène, soit à l'aide d'une cathode à haute luminosité en LaB6 soit enfin à l'aide d'une pointe à effet de champ.

Puce Moyens techniques

S800 S800 - Hitachi XL40 XL 40 - FEI LEO1430 LEO 1430 - Zeiss
MEB-HITACHI-S4800 Hitachi S4800 400L Magellan 400L- FEI

Puce Equipe Technique

Christophe DUPUIS , Christian ULYSSE

Puce Conditions d'utilisation

Puce Images marquantes

Microscopie1 Microscopie2

Observation de fautes d'empilement dans un nanofil d'InP obtenu par Epitaxie par Jets Moléculaires (EJM).
Groupes Elphyse/PEQ

Boîte quantique InAsP/InP localisée spatialement par Epitaxie sélective en Phase Vapeur aux Organo-Métalliques (EPVOM).
Groupe Elphyse

Puce Faits marquants

  • Installation fin 2009 d'un MEB haute résolution FEI : le Magellan 400L
    • Sas d'introduction automatique
    • Système STEM
    • EDX Oxford Inca X-max 350 (50mm²)
    • Evactron
  • Participation à l'exposition de Michel Paysant OnLAB au Louvre. Observation au microscope électronique de nano-sculptures réalisées au masqueur électronique, copies des chefs-d'oeuvre du département des Antiquités orientales du Louvre et des plans de sites archéologiques du Proche Orient.
  • » OnLAB est un projet de recherche soutenu par la Délégation aux arts plastiques, Ministère de la Culture et de la Communication.

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