CNRS/C2N : Traitements de surfaces, gravures et croissances par voie humide 
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies - Campus de Marcoussis
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Technologies Génériques > Traitements de surfaces, gravures et croissances par voie humide
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Chimie

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Puce Présentation

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Puce La chimie

La chimie humide est une des étapes technologique importante dans la réalisation des dispositifs. Au C2N campus de Marcoussis, a été installée une infrastructure adaptée aux principaux traitements chimiques effectués :

  • traitement par solvants
  • attaque acido-basique des semi-conducteurs
  • chimie spécifique à la micro-fluidique
  • chimie électrolytique pour les dépôts métalliques

D'autres hottes sont dédiées à l'amincissement chimique des substrats III-V (principalement dédié aux applications lasers), et à la chimie lourde (nettoyage de pièces pour l'épitaxie et la technologie).
Ces différents traitements chimiques nécessitent des mesures de prévention et des procédures d'utilisation spécifiques pour assurer la sécurité.

Hottes (acide-solvant) dédiées au traitement des semiconducteurs Hotte dédiée à la microfludique et disposant d'un poste d'enduction

Puce Moyens techniques

  • Chimie des semi-conducteurs
  • Micro-fluidique
  • Electrolyse
  • Amincissement chimique
  • Retour sommet page

    Puce Membres

    Contacts

     Decanini Dominique  (+33) 1 69 63 61 20  
     Dupuis Christophe  (+33) 1 69 63 61 42  

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