Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies - Campus de Marcoussis
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Technologies Génériques > Contrôles et Caractérisation
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Carac

Trait horizontal

Puce Présentation

Puce Membres

Puce Stages passés et en cours


Trait vertical

Puce Missions et objectifs

Dans l'ensemble des procédés technologiques mis en oeuvre pour élaborer des micro-nanostructures et des micro- nanodispositifs (masquage, gravure, dépôts, ...), les étapes de caractérisation avant et aprés procédé sont indispensables pour contrôler l'état de surface, la morpholgie, les dimensions des motifs réalisés.

Ces étapes de caractérisation sont également fondamentales pour les mises au point et les calibrations de nouveaux procédés, effectuées sur des véhicules-tests.

Nous disposons au laboratoire de différentes techniques spécifiques pour la caractérisation et le contrôle des échantillons tout au long de leur fabrication :

Microscope
Salle de caractérisation et de contrôle
(profilométrie mécanique, microscopie, réflectométrie)

Puce Moyens techniques

  • Microscopes optiques : deux microscopes Olympus BX51 avec caméra numérique.
  • Profilomètres à stylet : deux Dektak 3ST et un Dektak 8.
  • Profilomètres optiques par interférométrie en lumière blanche : un interféromètre Atos et un interféromètre Leitz.
  • Ellipsomètres: un ellipsomètre spectroscopique et multi-canal "in-situ" UVISEL (Jobin-Yvon), un ellipsomètre trois longueurs d'onde PLASMOS (1.55µm, 1.3µm, 633nm) "ex-situ".
  • Microscopes à Force Atomique
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Puce Membres

Contacts

 Lafosse Xavier  (+33) 1 69 63 60 73  

Et aussi...

 Cambril Edmond  (+33) 1 69 63 60 67  
 Decanini Dominique  (+33) 1 69 63 61 20  
 Dupuis Christophe  (+33) 1 69 63 61 42  
 Le Gratiet Luc  (+33) 1 69 63 60 63  

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Puce Stages passés et en cours

Stage


  • Détermination de propriétés physiques de dépôts de couches minces diélectriques (Avril-Juin 2013)

  • P. Kada-(2013-04-15 / 2013-06-28)
    Niveau : DUT
    Contact : X. Lafosse
    Groupe :


    En savoir plus
    L’objet de ce stage de 3 mois porte sur la détermination de caractéristiques physiques sur des dépôts de matériaux diélectriques (Oxydes, nitrures..), en couches minces, usuels, effectués au laboratoire. Ces matériaux sont principalement utilisés pour leurs propriétés isolantes (passivation, grille), mécaniques (cantilever, micro-membranes) ou optiques (filtres miroirs ou antireflets). Les dépôts en couches minces diélectriques sont réalisés, au laboratoire, par différentes techniques principalement situées en salle blanche : Pulvérisation cathodique, évaporation assistée par ions, PECVD, oxydation thermique du Silicium. Un certain nombre de matériaux déposés par ces techniques nécessitent des caractérisations complémentaires afin d’évaluer leur qualité pour les applications internes ou demandes externes au laboratoire. Typiquement, seront elaborés et mesurés lors de ce stage, plusieurs types de dépôts de matériaux tels que le SiO2, Si3N4, TiO2 et HfO2. Ces matériaux seront déposés soit par pulvérisation cathodique radiofréquence magnétron ou par évaporation assistée par ions. Les caractérisations qui seront menées sur les échantillons permettront de mesurer : - Les rugosités RMS (par Microscopie à Force Atomique - Les contraintes mécaniques (par Profilométrie mécanique - Les indices optiques (par Ellipsométrie Spectroscopique - Les permittivités relatives εr (par la réalisation d’une capacité en couche mince, Mesure C(V) et microscopie optique - Quelques observations par Microscopie électronique à Balayage seront menées pour étoffer l’étude et y apporter un volet « Structural ».

    Nous ferons varier plusieurs paramètres de dépôt de ces couches afin d’en mesurer l’impact sur les caractéristiques précitées.

    Outre les dépôts de couches minces et les caractérisations, le/la stagiaire sera potentiellement amené à utiliser d’autres techniques d’élaboration / mise en forme de couches minces comme la photolithographie ainsi que la gravure sèche (RIE). Les informations qui seront obtenues permettront de faire évoluer certains procédés afin d’obtenir les couches et revêtements les plus adaptés en fonction des demandes. Ce travail se deroulera essentiellement en Salle Blanche.
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