Laboratoire de Photonique et de Nanostructures
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Technologie des semiconducteurs, des Nanostructures et Analyses > Analyses Structurales
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Puce Objectifs

Il s'agit des analyses structurelles (cristallines et morphologiques) et chimiques indispensables pour l'évaluation et la qualification des matériaux et des méthodes d'élaboration développés au laboratoire. Les moyens mis en jeu sont en particulier la diffraction des rayons X, la microscopie électronique à transmission, la microanalyse et la microscopie à force atomique. Ces activités sont rattachées au groupe Elaboration et Physique des Structures Epitaxiées (ELPHYSE).


Puce Moyens

Puce Diffraction de rayons X à haute résolution

Nous disposons des équipements de diffraction les plus récents permettant de réaliser plusieurs types d'expériences de diffraction et de réflectométrie. Ces études permettent d'identifier les structures cristallines, les défauts cristallins, les compositions des alliages, les orientations relatives de différentes structures empilées, de façon non destructive, aussi bien sur des films minces que sur des objets nanométriques comme des fils ou des boîtes quantiques.

Puce Diffractomètre multi-configurations à anode tournante « Smartlab » RIGAKU

rigaku1 rigaku2
Caractéristiques:

Diffractomètre multi-configurations à anode tournante avec auto-alignement des configurations permettant de réaliser des expériences de diffraction des poudres, texture, réflectométrie, diffraction haute-résolution et diffraction des plans perpendiculaires à la surface en incidence rasante.

  • source à anode tournante 9kW
  • miroir focalisant
  • monochromateurs avant Ge(400)x2 et arrière Ge(220)x2
  • lentille polycapillaire
  • collimateurs incidents 0,15°, 0,5°, 5°
  • collimateurs de réception 0,114°, 0,5°, 5°
  • détecteur ponctuel à scintillation

Puce Diffractomètre multi-configurations à tube scellé « X'Pert Pro MRD » PANalytical

ANSTFig1
Caractéristiques:
  • miroir focalisant
  • monochromateurs avant Bartels Ge(220)x4 et arrière Ge(220)x3
  • lentille polycapillaire
  • collimateur 0,18°
  • détecteur 1D Pixcel
  • détecteurs ponctuels Xe


Téléphones : 01 69 63 63 32 et 01 69 63 62 02

Responsables : L. Largeau, O. Mauguin


Puce Microscope électronique en transmission

Le LPN a acquis un microscope Jeol 2200FS, équipé d'un correcteur d'aberration sphérique sur la sonde STEM et d'une lentille objectif de type « ultra-haute résolution », qui fonctionne depuis septembre 2008. L'association d'un spectromètre d'électrons placé dans la colonne du microscope avec un correcteur d'aberration sphérique est unique en France.

Cet équipement permet notamment l'analyse fine de la qualité des interfaces, la détermination locale de la structure, de l'orientation et de la composition chimique des échantillons, l'étude des différents modes de relaxation élastique et plastique, avec une résolution spatiale subnanométrique. Les techniques utilisées sont l'imagerie conventionnelle, l'imagerie à haute résolution, la microanalyse X et l'étude quantitative du contraste.

Pour l'observation en microscopie électronique, les échantillons sont amincis mécano-chimiquement ou par bombardement ionique.

Image STEM en champ sombre annulaire (HAADF) haute résolution d'un fil quantique InAsP. Chaque point blanc correspond à une colonne atomique.
Ces nanofils sont fabriqués par croissance « VLS » (Vapor Liquid Solid) dans un bâti EJM (J.C. Harmand)


Téléphones : 01 69 63 63 98 et 01 69 63 62 04

Responsables : G. Patriarche, L. Largeau


Puce Actions

Les principales actions rattachées sont :

Mis à jour le
05/07/2012

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