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Présentation

Le développement de nouvelles techniques de nanofabrication « bas coût » permettant de générer rapidement sur de grandes surfaces des nanostructures de quelques dizaines de nanomètres continue dêtre un enjeu majeur. Un deuxième objectif important du groupe consiste à développer des procédés innovants d'intégration de ces nanostructures au sein de dispositifs microfluidiques complexes. Depuis plusieurs années, ces deux thèmes forts du groupe nous ont permis de mener une recherche fondamentale et appliquée de haut niveau ouverte à la communauté scientifique. Nos activités s’articulent autour :

de nouvelles nanolithographies douces comme la nano-impression, le nano-tamponnage moléculaire, et l'autoassemblage guidé de nanoparticules.

Parmi ces techniques de transfert par contact, la nanoimpression est aujourdhui prédite être lune des techniques alternatives qui permettrait datteindre des échelles inférieures à 22 nm à léchéance de 2014. Le LPN étudie depuis plusieurs années lune de ses variantes, la nanoimpression assistée UV dite "douce", qui utilise des moules souples transparents (en PDMS par exemple). Elle permet de répliquer en quelques minutes des nanostructures de 30nm (voir Figure 1) sur une surface supérieure au centimètre carré. Combinée avec des procédés de gravure ionique réactive et d'évaporation sous angle, il est possible d'obtenir des nanomotifs avec de très grands facteurs de forme. Récemment, des nanoparticules métalliques creuses, qui peuvent être utilisées simultanément comme vecteur moléculaire et capteur plasmonique, ont pu ainsi être élaborées. Une deuxième application concerne la fabrication et l'intégration de nanopiliers permettant des séparations biochimiques sur puce (mélanges d'ADN par exemple).

Ordonner et positionner des nano-objets, comme des nanoparticules, sur une surface avec topographie est aujourdhui possible grâce à la méthode dauto-assemblage guidé qui utilise des solutions colloïdales. Le piégeage de la particule se fait par capillarité, par exemple dans un nanotrou, qui a été pré-structuré dans le substrat avant lassemblage. Si le substrat est un tampon de PDMS, le report de ces nanoparticules ordonnées devient alors possible par tamponnage sur un autre substrat, comme par exemple une lame de verre constituant lélectrode basse dun canal microfluidique (voir Figure 2).


Fig. 1. Réseaux de nanopiliers (diamètre de 30 nm) obtenus sur une surface de 1cm² par nanoimpression UV avec un moule souple bicouche en PDMS dur/PDMS.	Fig. 2. en haut: réseaux de nanoparticules d'Au autoassemblées dans un moule en PDMS porteur de nanotrous et en bas: le même réseau après transfert par tamponnage du moule PDMS sur une lame de verre.

Ces nanoparticules autoassemblées ou nanoimprimées sont ensuite intégrées au sein de dispositifs microfluidiques et létude de nouvelles fonctionnalités en milieu liquide, comme la détection optique plasmonique de molécules ou de protéines, devient possible.

de procédés technologiques bas coût pour la fabrication de dispositifs microfluidiques.

La plupart des dispositifs microfluidiques sont fabriqués à partir de simple couche de canaux PDMS collés sur une plaque de verre ou de silice fondue, qui grâce à leur transparence permettent dimager les évènements au cours des expériences et de mener des études de biophotonique. Des dispositifs multicouches ont aussi été développés pour fabriquer des composants fluidiques pour la manipulation et le mélange des fluides, comme des vannes (figure 3), des mélangeurs (figure 4) et des pompes péristaltiques. Pour les études délectrophorèse, des électrodes peuvent être intégrées dans des canaux fins grâce à un procédé utilisant du PDMS photosensible (figure 5) et un procédé de collage direct a été mis au point pour fabriquer des dispositifs «verre-sur-verre» suffisamment résistants en pression pour permettre des études d'électro-préconcentration dans des nanofentes de 50nm.


Fig. 3. Vanne à deux niveaux de canaux en PDMS.	Fig. 4. Un mélangeur pour des études d'amplification chimique sur puce.


Fig. 5. Le procédé PDMS photosensible pour l'intégration d'électrodes.	Fig. 6. Un microdispositif pour électrophorèse.

Aujourdhui, nos travaux se prolongent vers :

La nanoimpression UV de très haute résolution (jusqu'à 10nm)
avec moules bi-couches transparents à haut module d'Young. Dans le cadre du projet européen TERAMAGSTOR, nous étudions la réplication de réseaux de plots de 10 nm de diamètre et de périodicité inférieure à 25nm dans le but d'atteindre un taux d'intégration de l'ordre du TeraBit/inch². Dans une approche descendante conventionnelle, le film magnétique est structuré par nanoimpression et gravure ionique, tandis que l'approche ascendante combine la nanoimpression pour une pré-structuration du disque et l'auto-assemblage de particules magnétiques.
le développement de procédés de collage direct
à base de résines pour l'obtention de dispositifs nanofluidiques en verre permettant des expériences d'électrophorèse sous champ électrique élevé (expériences de rétention ou de préconcentration au travers de nanofentes).
La fabrication de dispositifs fluidiques multi-niveaux
Ils sont obtenus grâce à des procédés permettant d'intégrer des nanostructures ou des électrodes. Notre but sera de réaliser à plus long terme des laboratoires sur puce intégrant plusieurs fonctionnalités pour l'électrophorèse, la détection, le contrôle de température et la manipulation des fluides. Il est important de noter que chacune de ces fonctionnalités a déjà été étudiée au sein de dispositifs fluidiques simples.

Membres

Contacts

Haghiri-Gosnet Anne-Marie (+33) 1 69 63 61 22

Et aussi...

Cattoni Andrea (+33) 1 69 63 60 48

Decanini Dominique (+33) 1 69 63 61 20

Publications

Publications dans des journaux

Soft UV Nanoimprint Lithography: a versatile tool for nanostructuration at the 20 nm scale [PDF] , A. Cattoni, J. Chen, D. Decanini, J. Shi, A.-M. Haghiri-Gosnet, , 139 (2011)
Soft UV-NIL at 20 nm scale using flexible bilayer stamp casted on HSQ master mold [PDF] , A. Cattoni, E. Cambril, D. Decanini, G. Faini, A.-M. Haghiri-Gosnet, Microelectron. Eng. 87, 1015 (2010)
A versatile pattern inversion process based on thermal and soft UV nanoimprint lithography techniques [PDF] , J. Chen, J. Shi, A. Cattoni, D. Decanini, Z Liu, Y. Chen, A.-M. Haghiri-Gosnet, Microelectron. Eng. 87, 899 (2010)
Drops onto gradients of texture , M. Reyssat, F. Pardo, D. Quere, Europhys. Lett. 87, 36003 (2009)
Gold nanohole arrays fabricated by soft UV nanoimprint lithography , J. Chen, J. Shi, D. Decanini, E. Cambril, Y. Chen, A.-M. Haghiri-Gosnet, Microelectron. Eng. 86, 632 (2009)
Fabrication and characterization of metallic nanocavities by nanoimprint lithography , J. Shi, J. Chen, D. Decanini, Y. Chen, A.-M. Haghiri-Gosnet, Microelectron. Eng. 86, 596 (2009)
Patterning biomolecules with a water-soluble release and protection interlayer , J. Shi, F. Ni, Y. Chen, Langmuir 23, 11377 (2007)
Highly parallel mix-and-match fabrication of nanopillar arrays integrated in microfluidic channels for long DNA molecule separation , J. Shi, A. Fang, L. Malaquin, A. Pepin, D. Decanini, J.-L. Viovy, Y. Chen, Appl. Phys. Lett. 91, 153114 (2007)
Fabrication of microfluidic devices based on glass??PDMS??glass technology , A. Plecis, Y. Chen, Microelectron. Eng. 84, 1265 (2007)
Fabrication and surface functionalization of high aspect ratio plastic nanostructures , J. Shi, Ch. Peroz, G. Velve Casquillas, A. Pepin, M. Belotti, LP Xu, D. Peyrade, Y. Chen, Microelectron. Eng. 84, 1724 (2007)
Fabrication of integrated patterns using lithography and particles assembling techniques , J. Shi, S.S. Guo, MH Sun, D. Baigl, Y. Chen, Microelectron. Eng. 84, 1471 (2007)
Micro-aspiration assisted lithography , M. Le Berre, J. Shi, C. Crozatier, G. Velve Casquillas, Y. Chen, Microelectron. Eng. 84, 864 (2007)
Reactive ion etching of high optical quality GaN/sapphire photonic crystal slab using CH4-H2 chemistry [PDF] , S. Bouchoule, S. Boubanga-Tombet, L. Le Gratiet, M. Le Vassor D'Yerville, J. Torres, Y. Chen, D. Coquillat, J. Appl. Phys. 101, 43103 (2007)
Cell distribution of stress fibres in response to the geometry of the adhesive environment , M. Thery, A. Pepin, E. Dressaire, Y. Chen, M. Bornens, Cell Motil. Cytoskeleton 63, 341 (2006)
Bouncing transitions on microtextured materials , M. Reyssat, A. Pepin, F. Marty, Y. Chen, D. Quere, Europhys. Lett. 74, 306 (2006)
Fabrication of SOI photonic crystal slabs by soft UV-nanoimprint lithography , M. Belotti, J. Torres, E. Roy, A. Pepin, D. Gerace, L. C. Andreani, M. Galli, Y. Chen, Microelectron. Eng. 83, 1773 (2006)
Superhydrophobic surfaces fabricated by nanoimprint lithography , A. Pozzato, S. Dal Zilio, G. Fois, D. Vendramin, G. Mistura, M. Belotti, Y. Chen, F. Natali, Microelectron. Eng. 83, 884 (2006)
Replication of nanophotonic structures by soft UV-nanoimprint lithography , M. Belotti, J. Torres, E. Roy, A. Pepin, Y. Chen, D. Gerace, L. C. Andreani, M. Galli, J. Appl. Phys. 99, 24309 (2006)
Toward a comparative study of protein crystallization in microfluidic chambers using vapor diffusion and batch techniques , M. Lounaci, P. Rigolet, G. Velve Casquillas, H. W. Huang, Y. Chen, Microelectron. Eng. 83, 1673 (2006)
Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars , J. Shi, Ch. Peroz, D. Peyrade, J. Salari, M. Belotti, H. W. Huang, Y. Chen, Microelectron. Eng. 83, 1664 (2006)
Response of super-paramagnetic beads in microfluidic devices with integrated magnetic micro-columns , S.S. Guo, C.C. Zuo, H. W. Huang, Ch. Peroz, Y. Chen, Microelectron. Eng. 83, 1655 (2006)
Adhesion controls the division axis of animal cells , M. Thery, V. Racine, A. Pepin, M. Piel, Y. Chen, J.-B. Sibarita, M. Bornens, Nature Cell Biol. 7, 947 (2005)
Enhanced third harmonic reflection and diffraction in Silicon on Insulator photonic waveguides , B. Comaschi, G. Vecchi, A. M. Malvezzi, M. Patrini, G. Guizzetti, M. Liscidini, L. C. Andreani, D. Peyrade, Y. Chen, J. Phys. B 81, 305 (2005)
Single-mode versus multimode behavior in silicon photonic crystal waveguides measured by attenuated total reflectance , M. Galli, D. Bajoni, M. Patrini, G. Guizzetti, D. Gerace, L. C. Andreani, Y. Chen, Phys. Rev. B 72, 125322 (2005)
Comparison of SOI photonic crystals fabricated by both electron-beam lithography and nanoimprint lithography , M. Belotti, M. Galli, D. Bajoni, L. C. Andreani, G. Guizzetti, D. Decanini, Y. Chen, Microelectron. Eng. 73-74, 405 (2004)
Correlated vortex chiralities in interacting permalloy dot patterns , M. Natali, A. Popa, U. Uebels, Y. Chen, S. Li, M. E. Welland, J. Appl. Phys. 96, 4334 (2004)
Antidot density-dependent of magnetization reversal dynamics in ultrathin epitaxial Fe/GaAs (001) , T. A. Moore, G. Wastlbauer, J. A. C Bland, E. Cambril, M. Natali, D. Decanini, Y. Chen, J. Phys.: Condens. Matter 16, L375 (2004)
Excitation of radiative and evanescent defect modes in linear photonic crystalwaveguides , M. Galli, M. Belotti, D. Bajoni, M. Patrini, G. Guizzetti, D. Gerace, M. Agio, Y. Chen, L. C. Andreani, Phys. Rev. B 70, 081307R (2004)
Equifrequency surfaces in a two-dimensional GaN photonic crystal , D. Coquillat, J. Torres, D. Peyrade, Y. Chen, R. Legros, J. P. Lascaray, M. Le Vassor d'Yerville, R.M. De La Rue, E. Centeno, D. Cassagne, J.P. Albert, Optics Express 12, 1097 (2004)
Nanometer-scale probing of optical and thermal near-fields with an apertureless NSOM , F. Formanek, Y. De Wilde, L. Aigouy, W. K. Kwok, L. Paulius, Y. Chen, Superlatt. Microstruct. 35, 315 (2004)
Coherent spontaneous emission of light by thermal sources , F. Marquier, K. Joulain, J. P. Mulet, R. Carminati, J.-J. Greffet, Y. Chen, Phys. Rev. B 69, 155412 (2004)
Coherent spontaneous light emission , J.-J. Greffet, F. Marquier, R. Carminati, K. Joulain, J. P. Mulet, S. Mainguy, J. Phys. IV 119, 35 (2004)
Micro-photoluminescence of GaN quantum dots embedded in 100 nm wide cylindrical AIN pillars , T. Taliercio, S. Rousset, P. Lefebvre, T. Bretagnon, T. Guillet, B. Gill, D. Peyrade, N. Grandjean, Y. Chen, F. Demangeot, Superlatt. Microstruct. 36, 783 (2004)
Using electrochemical coupling between parallel microbands for in situ monitoring of flow rates in microfluidic channels , C. Amatore, M. Belotti, Y. Chen, E. Roy, C. Sella, L. Thouin, J. Electroanal. Chem. 573, 333 (2004)
Apertureless near-field scanning optical microscope working with or without laser source , F. Formanek, Y. De Wilde, L. Aigouy, Y. Chen, Scanning 26, I63 (2004)
Exploring the high sensitivity of SU-8 resist for high resolution electron beam patterning , A. Pepin, V. Studer, D. Decanini, Y. Chen, Microelectron. Eng. 73-74, 233 (2004)
Giant second-harmonic generation in a one-dimensional GaN photonic crystal , J. Torres, D. Coquillat, R. Legros, J. P. Lascaray, F. Teppe, D. Scalbert, D. Peyrade, Y. Chen, O. Briot, M. Le Vassor d'Yerville, E. Centeno, D. Cassagne, J.P. Albert, Phys. Rev. B 69, 85105 (2004)
Optical properties and photonic mode dispersion in two-dimensional and waveguide-embedded photonic crystals , L. C. Andreani, M. Agio, D. Bajoni, M. Belotti, M. Galli, G. Guizzetti, A. M. Malvezzi, F. Marabelli, M. Patrini, G. Vecchi, Synth. Met. 139, 695 (2003)
Giant second-harmonic generation due to quasi-phase matching in a one-dimensional GaN photonic crystal , J. Torres, D. Coquillat, R. Legros, J. Lascaray, S. Ruffenach, O. Briot, J.P. Aulombard, D. Peyrade, Y. Chen, M. Le Vassor D'Yerville, E. Centeno, D. Cassagne, J.P. Albert, Phys. Stat. Sol. (b) 240, 455 (2003)
Antidot density-dependent reversal dynamics in ultrathin epitaxial Fe/GaAs(001) , T. A. Moore, G. Wastlbauer, J. A. C Bland, E. Cambril, F. Natali, D. Decanini, Y. Chen, J. Appl. Phys. 93, 8746 (2003)
Equifrequency surfaces in GaN/sapphire photonic crystals , D. Peyrade, J. Torres, D. Coquillat, R. Legros, J. P. Lascaray, Y. Chen, L. Ferlazzo, S. Ruffenach, Physica E 17, 423 (2003)
Transmission blazed-binary gratings for visible light operation: performances and interferometric characterization , M.S. Lee, P. Pichon, C. Sauvan, J. C. Rodier, P. Lalanne, M. Hutley, D. Joyeux, P. Chavel, E. Cambril, Y. Chen, J. Opt. A 5, S244 (2003)
Imaging with blazed-binary diffractive elements , M. S. L Lee, P. Lalanne, J. C. Rodier, P. Chavel, E. Cambril, Y. Chen, J. Opt. A 4, 0 (2002)
Sub-micrometre dielectric and metallic yablonovite structures fabricated from resist templates , C. Cuisin, A. Chelnokov, D. Decanini, D. Peyrade, Y. Chen, J. M. Lourtioz, Opt. Quant. Electron. 33, 13 (2002)
Spatially resolved photonics transfer through mesoscopic heterowires , R. Quidant, J. C. Weeber, A. Dereux, D. Peyrade, C. Girard, Y. Chen, Phys. Rev. E 65, 36616 (2002)
Can thermal radiation be coherent , J.-J. Greffet, R. Carminati, K. Joulain, J. P. Mulet, S. Mainguy, Y. Chen, Nature 416, 61 (2002)
Near-field observation of evanescent light wave coupling in subwavelength optical waveguides , R. Quidant, J. C. Weeber, A. Dereux, D. Peyrade, Y. Chen, C. Girard, Europhys. Lett. 57, 191 (2002)
Photonic bands in patterned silicon on insulator waveguides , M. Patrini, M. Agio, L. C. Andreani, M. Galli, F. Marabelli, D. Peyrade, Y. Chen, IEEE J. Quant. Electron. 38, 885 (2002)
Optical investigation of micrometer and nanometer-size individual GaN pillars fabricated by reactive ion etching , F. Demangeot, J. Gleize, J. Frandon, M. A. Renucci, M. Kuball, D. Peyrade, L. Ferlazzo, Y. Chen, N. Grandjean, J. Appl. Phys. 91, 6520 (2002)
Raman scattering in a GaN photonic crystal , F. Demangeot, J. Gleize, J. Frandon, M. A. Renucci, M. Kuball, D. Peyrade, Y. Chen, N. Grandjean, J. Appl. Phys. 91, 2866 (2002)
Short Bragg mirrors with adiabatic modal conversion , D. Peyrade, E. Silberstein, P. Lalanne, A. Talneau, Y. Chen, Appl. Phys. Lett. 81, 829 (2002)
Magnetic nanostructure fabrication by soft lithography and vortex single domain transition in Co dots , S. P. Li, M. Natali, A. Lebib, A. Pepin, Y. Chen, Y. B. Xu, J. Magn. Mat. 241, 447 (2002)
Vortex dynamics in magnetostatically coupled cobalt arrays , M. Natali, A. Lebib, Y. Chen, I. L. Prejbeanu, U. Ebels, L. D. Buda, K. Ounadjela, Phys. Rev. Lett. 88, 65535 (2002)
Domain structure in magnetic dots prepared by nanoimprint and e-beam lithography , J. Mortiz, S. Landis, J. P. Nozieres, Y. Chen, A. Lebib, J. Appl. Phys. 91, 7314 (2002)
Configurational anisotropy in interacting cobalt dot arrays , M. Natali, I. L. Prejbeanu, A. Lebib, K. Ounadjela, Y. Chen, J. Appl. Phys. 91, 7041 (2002)
In plane reversal in circles cobalt dots , I. L. Prejbeanu, M. Natali, L. D. Buda, U. Esula, A. Lebib, K. Ounadjela, Y. Chen, J. Appl. Phys. 91, 7343 (2002)
Influence of crystalline structures on the domain configurations in controlled mesoscopic ferromagnetic wire junctions , Y. Hirohata, Y. B. Xu, J. A. C Bland, S. N. Holmes, E. Cambril, Y. Chen, F. Rousseaux, J. Appl. Phys. 91, 7308 (2002)
Spin engineered magnetic media , S. P. Li, W. S. Lew, J. A. C Bland, L. Lopez-Diaz, M. Natali, C. A. F Vaz, Y. Chen, Nature 415, 600 (2002)
Magnetic domain confinement by anisotropy modulation , S. P. Li, W. S. Lew, J. A. C Bland, L. Lopez-Diaz, C. A. F Vaz, M. Natali, Y. Chen, Phys. Rev. Lett. 88, 65535 (2002)
Domain nucleation in arrays of perpendicularly magnetized dots , S. P. Li, A. Lebib, Y. Chen, Y. Fu, M. E. Welland, J. Appl. Phys. 91, 9964 (2002)
Nanoembossing of thermoplastic polymers for microfluidic applications , V. Studer, A. Pepin, Y. Chen, Appl. Phys. Lett. 80, 3614 (2002)
Geometric coercivity scaling in magnetic thin film antidot arrays , I. Ruiz-Feal, L. Lopez-Diaz, A. Hirohato, J. Rothman, C. M. Guertler, J. A. C Bland, L. M. Garcia, J. M. Torres, J. Bartolome, F. Bartolome, M. Natali, D. Decanini, Y. Chen, J. Magn. Mat. 242-245, 597 (2002)
Spin confinement by anisotropy modulation , J. A. C Bland, W. S. Lew, S. P. Li, L. Lopez-Diaz, C. A. F Vaz, M. Natali, Y. Chen, J. Phys. D 35, 2384 (2002)
Optical response of one-dimensional (Si/SiO2)m photonic crystals , M. Patrini, M. Galli, M. Belotti, L. C. Andreani, G. Guizzetti, G. Pucker, A. Lui, P. Bellutti, L. Pavesi, J. Appl. Phys. 92, 1816 (2002)
Room-temperature and low-pressure nanoimprint lithography , A. Lebib, Y. Chen, E. Cambril, P. Youinou, V. Studer, M. Natali, A. Pepin, H. M. Janssen, R. P. Sijbesma, Microelectron. Eng. 61-62, 371 (2002)
Nanoimprint lithography for the fabrication of DNA electrophoresis chips , A. Pepin, P. Youinou, V. Studer, A. Lebib, Y. Chen, Microelectron. Eng. 61-62, 927 (2002)
Spectroscopy of photonic bands in macroporous silicon photonic crystals , M. Galli, M. Agio, L. C. Andreani, M. Belotti, G. Guizzetti, F. Marabelli, M. Patrini, P. Bettotti, L. Dal Negro, Z. Gaburro, L. Pavesi, A. Lui, P. Bellutti, Phys. Rev. B 65, 65535 (2002)
Fabrication and optical measurements of silicon on insulator photonic nanostructures , D. Peyrade, Y. Chen, A. Talneau, M. Patrini, M. Galli, F. Marabelli, M. Agio, L. C. Andreani, E. Silberstein, P. Lalanne, Microelectron. Eng. 61-62, 529 (2002)
Intrinsic anisotropy-defined magnetization reversal in submicron ring magnets , S. P. Li, W. S. Lew, J. A. C Bland, F. Natali, A. Lebib, Y. Chen, J. Appl. Phys. 92, 7397 (2002)
Patterned media made from pre-etched wafers: A promising route toward ultrahigh-density magnetic recording , J. Mortiz, S. Landis, J. -C. Toussaint, P. Bayle-Guillemaud, B. Rodmacq, G. Casali, A. Lebib, Y. Chen, J. P. Nozieres, B. Dieny, IEEE Trans. Magn. 38, 1731 (2002)
Magnetic anisotropy in permalloy micro-grid fabricated by near field optical lithography , S. P. Li, D. Peyrade, Y. Chen, W. S. Lew, J. A. C Bland, J. Appl. Phys. 90, 521 (2001)
Flux closure structures in cobalt rings , S. P. Li, D. Peyrade, M. Natali, A. Lebib, Y. Chen, U. Ebels, L. D. Buda, K. Ounadjela, Phys. Rev. Lett. 86, 1102 (2001)
Size and thickness dependencies of magnetization reversal in Co dot arrays , A. Lebib, S. P. Li, M. Natali, Y. Chen, J. Appl. Phys. 89, 3892 (2001)
Irradiation-induced magnetic patterning in magnetic multilayers , D. Ravelosona, T. Devolder, C. Chappert, H. Bernas, Y. Chen, J. P. Jamet, J. Ferre, E. Cambril, V. Mathet, Mater. Sci. Eng. C 15, 53 (2001)
Effects of interdot dipole coupling in mesoscopic epitaxial Fe(100) dot arrays , Y. B. Xu, A. Hirohata, S. M. Gardiner, M. Tselepi, J. Rothman, J. Klauim, L. Lopez-Diaz, J. A. C Bland, Y. Chen, E. Cambril, F. Rousseaux, IEEE Trans. Magn. 37, 2055 (2001)
Beam-induced magnetic property modifications: basics, nanostructure fabrication and potential applications , T. Devolder, H. Bernas, D. Ravelosona, C. Chappert, S. Pizzini, J. Vogel, J. Ferre, J. P. Jamet, Y. Chen, V. Mathet, Nucl. Instr. Meth. A 175-177, 375 (2001)
Simultaneous observation of light localization and confinement in near-field optics , D. Peyrade, R. Quidant, J. C. Weeber, A. Dereux, G. Leveque, C. Girard, Y. Chen, Europhys. Lett. 56, 517 (2001)
Addressing and imaging high index dielectric ridges in the optical near field , R. Quidant, J. C. Weeber, A. Dereux, D. Peyrade, G. Colas Des Francs, C. Girard, Y. Chen, Phys. Rev. E 64, 65535 (2001)
Nanoimprint lithography of high-density cobalt dot patterns for fine tuning of dipole interactions , F. Natali, A. Lebib, E. Cambril, Y. Chen, I. L. Prejbeanu, K. Ounadjela, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 2779 (2001)
Temperature behavior of multiple tunnel junction devices based on disordered metal dot arrays , A. S. Cordan, Y. Leroy, A. Goltzene, A. Pepin, C. Vieu, M. Mejias, H. Launois, J. Appl. Phys. 87, 345 (2000)
Magnetization reversal in irradiation-fabricated nanostructures , T. Devolder, C. Chappert, V. Mathet, H. Bernas, Y. Chen, J. P. Jamet, J. Ferre, J. Appl. Phys. 87, 8671 (2000)
Electron beam lithography: resolution limits and applications , C. Vieu, F. Carcenac, A. Pepin, Y. Chen, M. Mejias, A. Lebib, L. Ferlazzo, L. Couraud, H. Launois, Appl. Surf. Sci. 164, 111 (2000)
Nanoimprint and soft-lithography trilayer processes , Y. Chen, A. Lebib, S. P. Li, D. Peyrade, M. Natali, A. Pepin, E. Cambril, Eur. Phys. J. AP 12, 223 (2000)
Microplough-row lithography and fabrication of submicrometer magnetic structures , S. P. Li, A. Lebib, D. Peyrade, M. Natali, Y. Chen, Appl. Phys. Lett. 77, 2743 (2000)
Yablonovite templates fabricated by X-ray lithography , C. Cuisin, A. Chelnokov, J. M. Lourtioz, D. Decanini, Y. Chen, Appl. Phys. Lett. 77, 770 (2000)
Near-field probing control of optical propagation in bidimensional guiding mesostructures , D. Mulin, M. Spaja, D. Courjon, F. Carcenac, Y. Chen, J. Appl. Phys. 87, 534 (2000)
Sub-50 nm planar magnetic structures fabricated by ion implantation , T. Devolder, Y. Chen, H. Bernas, C. Chappert, J. P. Jamet, E. Cambril, Appl. Phys. Lett. 74, 3383 (1999)
Versatile patterning process for secondoncductors based on microcontact printing , G. Schmidt, M. Tormen, G. Muller, L. W. Molenkamp, Y. Chen, A. Lebib, H. Launois, Electron. Lett. 35, 1731 (1999)
Temperature evolution of multiple tunnel junction devices made with disordered 2D arrays of metallic islands , A. Pepin, C. Vieu, M. Mejias, Y. Jin, F. Carcenac, J. Gierak, C. David, L. Couraud, H. Launois, A. S. Cordan, Y. Leroy, A. Goltzene, Appl. Phys. Lett. 74, 3047 (1999)

Publications dans des livres

Coherent spontaneous emission of light due to surface waves Source , J.-J. Greffet, R. Carminati, K. Joulain, J. P. Mulet, C. Henkel, S. Mainguy, Y. Chen, Optical nanotechnologies: The manipulation of surface and local plasmons 88, 163 (2003)

Contrats et projets

Projets Internationaux

TERAMAGSTOR :

TeraBit Magnetic Storage Technologies

SOUVENIR :

Soft UV Enhanced Nanoimprint

Projets Incitatifs du Ministère de la Recherche

Nanostructures rayonnantes :

Conception, fabrication et caractérisation de sources thermiques cohérentes

AMPCMC :

Aspects mécaniques et physico-chimiques de l'adhésion et de la migration cellulaire

MICROELECTROPRO :

Electrophorèse et électrochromatographie en laboratoires-sur-puces pour peptides et protéines

Projets CNRS

Optique Atomique Intégrée et Nanostructures

EPML 19 :

Nanoimpression et Applications

CLERMONT-FERRAND II

AS 41 :

Lithographies alternatives pour les nanotechnologies

CLERMONT-FERRAND II

Stages passés et en cours

Post-doctorat

Biocapteurs plasmoniques réalisés par nanoimpression et intégrés dans des dispositifs fluidiques

A. Cattoni-(2008-10-01 / 2010-09-30)
Contact : A.-M. Haghiri-Gosnet
Groupe : Nanotechnologie et Dispositifs Microfluidiques (NANOFLU)
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Fabrication par des technologies non-conventionnelles et intégration de nanostructures dans des systèmes opto-fluidiques : application à la biologie

Ch. Peroz-(2005-06-01 / 2006-05-31)
Contact : Y. Chen
Groupe : Nanotechnologie et Dispositifs Microfluidiques (NANOFLU)
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Thèse

Intégration de nanostructures plasmoniques dans des dispositifs microfluidiques pour la biodétection

J. Chen-(2007-10-01 / 2010-09-30)
Contact : A.-M. Haghiri-Gosnet
Groupe : Nanotechnologie et Dispositifs Microfluidiques (NANOFLU)
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Intégration de nanostructures plasmoniques dans des dispositifs microfluidiques pour la biodétection

Stage

Traitements de surface pour l'accrochage de couches métalliques sur diélectriques et semi-conducteurs

D. Besnard-(2005-03-07 / 2005-09-02)
Niveau : Master2
Contact : C. Gosse
Groupe : Nanotechnologie et Dispositifs Microfluidiques (NANOFLU)
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DESS Génie des Matériaux (Université d'Evry)

Logettes en PDMS pour l’injection localisée d’ADN dans des embryons de souris

Niveau : Master
Contact : C. Gosse
Groupe : Nanotechnologie et Dispositifs Microfluidiques (NANOFLU)
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En collaboration avec des biologistes du développement de l’Institut Jacques Monod, nous mettons au point des microsystèmes destinés à l’injection de séquences d’ADN dans une région prédéfinie d’un embryon de souris. Dans le cas où les marqueurs génétiques utilisés induisent l’expression d’une protéine colorée, cette technique de marquage peut ensuite servir à tracer la descendance des cellules modifiées. Lors d’un précédent stage, nous avons réalisé des structures en forme de logettes où les embryons pouvaient être insérés et filmés tout au long de leur croissance. Nous avons pour cela utilisé la technique de lithographie molle du PDMS qui permet de répliquer en élastomère mou et biocompatible n’importe quelle forme présente à la surface d’un moule de silicium. Au cours de la présente étude, nous proposons d’introduire dans notre dispositif une fonctionnalité de micro-injection. L’entrée du matériel génétique s’effectuant grâce à la perméabilisation de la membrane cellulaire suite à un choc électrique, le stagiaire aura tout d’abord à trouver un moyen simple et facile à mettre en œuvre pour créer de forts gradients de potentiel. Il s’aidera, à cette étape, du logiciel de calcul par éléments finis FEMLAB. Une fois le design de la puce arrêté, cette dernière, hybride PDMS/verre/métal, sera réalisée en salle blanche en utilisant les diverses techniques de microfabrication disponibles au laboratoire (lithographie optique, métallisation, gravure plasma, moulage, etc). Finalement, l’efficacité d’injection sera mesurée sur de vrais embryons en collaboration avec les biologistes.

Systèmes microfluidiques à multicouches

S. Moreau-(2002-01-15 / 2002-06-30)
Niveau : Master
Contact : Y. Chen
Groupe : Nanotechnologie et Dispositifs Microfluidiques (NANOFLU)
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Stage de fin d'étude, Supélec

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