NANOTEM : TEM and FIB Platform
Equipex TEMPOS

TEM/STEM Titan Themis 200

  • canon XFEG 80-200 keV
  • détecteur Chemistem Super-X (EDX)
  • correcteur Cs sonde (res : 80 pm)
  • modes d'imagerie : STEM BF, ABF, HAADF
  • pièce polaire S-Twin : entrefer 5,4 mm
    (résolution Scherzer : 240 pm)
  • caméra CMOS CETA 4kx4k
  • cryo-transfert
  • plasma cleaner
  • cryo-plongeur (hébergé au LPS)

TEM-STEM Titan Themis 200