NANOTEM : TEM and FIB Platform
Equipex TEMPOS

Microscope double faisceau Scios

  • colonne électronique NiCol UHR Non immersion FESEM
  • colonne ionique Sidewinder 500V-30kV
  • détecteur In-lens
  • détecteurs ETD/ICE
  • manipulateur Easy-Lift In-situ
  • double système d'injection de gaz Pt et C

Dual-Beam Scios